一、術語

1潔凈室 潔凈廠房

空氣懸浮粒子濃度受控的房間。

2 潔凈區

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。可分為開放式和封閉式。

3 移動式潔凈小室

可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。

4 粒徑

給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。

5 懸浮粒子

用于空氣潔凈度分級的，尺寸范圍在0.1μm~5μm，懸浮于空氣中的固體和液體粒子。

6 超微粒子

當量直徑小于0.1μm的粒子。

7 微粒子

當量直徑大于5μm的粒子。

8 粒徑分布

粒徑的頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。

9 含塵濃度

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

10 潔凈度

以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

11 氣流流型

對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。

12 單向流

通過潔凈室(區)整個斷面的風速穩定、大致平行的受控氣流。可分為垂直單向流和水平單向流。

13 非單向流

送人潔凈室(區)的送風以誘導方式與室(區)內空氣混合的氣流分布類型。

14 混合流

單向流和非單向流組合的氣流。

15 潔凈工作區

指潔凈室內離地面高度0.8m~1.5m的區域，工藝特殊要求除外。

16 空氣吹淋室

利用高速潔凈氣流吹落并清除進人潔凈室人員表面附著粒子的小室。

17 氣閘室

設置在潔凈室出人口，阻隔室外或鄰室污染氣流和控制壓差而設置的緩沖間。

18 傳遞窗

在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

19 空態

設施已經建成，其服務動力公用設施區接通并運行，但無生產設備、材料及人員的狀態。

20 靜態

設施已經建成，生產設備已經安裝好，并按供需雙方商定的狀態運行，但無生產人員的狀態。

21 動態

設施以規定的方式運行，有規定的人員在場，并在商定的狀態下進行工作。

22 高效空氣過濾器 (HEPA)

額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。

23 超高效空氣過濾器 (ΜLPA)

額定風量下，對粒徑0.1μm~0· 2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。

24 自凈時間

潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級所需的時間。

25 生物潔凈室

潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。

26 浮游菌

懸浮在空氣中的帶菌微粒。

27 沉降菌

降落在培養皿上的帶菌微粒。

28 U描述符

每立方米空氣中包括超微粒子（小于0.1μm）的實測或規定濃度。

29 M描述符

每立方米空氣中實測的或規定的微粒子（大于5μm）。

30 工業管道

潔凈廠房內，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統稱為工業管道。

二、空氣潔凈度等級

1 空氣潔凈度整數等級及濃度限值

注:按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。

2 最大濃度限值計算

Cn——大于等于要求粒徑的最大濃度限值（pc/m3），取整，有效位數不超過三位。

N——空氣潔凈度等級，可取至小數點后一位。

D——要求的粒徑（μm）

0.1——常數，量綱為0.1μm

3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm~0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。

注：此處粒徑范圍，根據上述潔凈度整數等級及濃度限值，以及U描述和M描述的定義，感覺應為0.1μm~5μm。

5 空氣潔凈度等級所處狀態包括空態、靜態、動態，空氣潔凈度等級所處狀態應與業主協商確定。

6 當潔凈室(區)內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

三、總體設計

1 潔凈廠房新風口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。

2 人員凈化用室和生活用窒的設計，單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一臺。

3人流路線應避免往復交叉。

4 潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積，宜按潔凈區設計人數平均每人2m2~4m2計算。

5 根據室內容許噪聲級要求，凈化空調系統風管內風速宜符合下列規定:

1） 總風管風速宜為6m/s~10m/s。

2）無送、回風口的支風管風速宜為4m/s~6m/s。

3）有送、回風口的支風管風速宜為2m/s~5m/s。

四、空氣凈化

1 潔凈室的溫、濕度要求

2 供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小40m3/h。

3 不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa，潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。

4 送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機;關閉時聯鎖程序應相反。

負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。

5 非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。

6 氣流流型及送風量，如下表所示

7 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量，其布置要求如下表所示。

8 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室不得采用散熱器采暖。

9 潔凈廠房中的疏散走廊應設置機械排煙設施。

10 凈化空調系統的新風管段應設置電動密閉閥、調節閥,送、回風管段應設置調節閥,潔凈室內的排風系統應設置調節閥、止回閥或電動密閉閥。

11 在空氣過濾器的前、后應設置測壓孔或壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，宜設置風量測定孔。